Spring til hovednavigation
Spring til søgning
Spring til hovedindhold
Københavns Universitets forskningsportal Forside
Hjælp og OSS
Dansk
English
Forside
Profiler
Publikation
Forskningsenheder
Presse/medier
Aktiviteter
Priser
???studenttheses???
Forskningsdatasæt
Søg efter ekspertise, navn eller tilknytning
Replacing libraries in scatterometry
Jonas Skovlund Moller Madsen, Soren Alkaersig Jensen,
Jesper Nygard
, Poul Erik Hansen
Faststoffysik
3
Citationer (Scopus)
64
Downloads (Pure)
Oversigt
Fingeraftryk
Fingeraftryk
Dyk ned i forskningsemnerne om 'Replacing libraries in scatterometry'. Sammen danner de et unikt fingeraftryk.
Sorter
Vægt
Alfabetisk
Keyphrases
Non-diffracting
40%
Wave Defects
40%
Diffraction Grating
40%
Parameter Correlation
40%
Sinusoidal Variation
40%
Grating Substrate
40%
Library Generation
40%
Short pitch
40%
Food Sensing
40%
Substrate Interface
40%
Library Search
40%
Engineering
Sinusoidal Variation
100%
Physics
Diffraction Grating
100%