Spring til hovednavigation
Spring til søgning
Spring til hovedindhold
Københavns Universitets forskningsportal Forside
Hjælp og OSS
Dansk
English
Forside
Profiler
Publikation
Forskningsenheder
Presse/medier
Aktiviteter
Priser
???studenttheses???
Forskningsdatasæt
Søg efter ekspertise, navn eller tilknytning
Replacing libraries in scatterometry
Jonas Skovlund Moller Madsen, Soren Alkaersig Jensen,
Jesper Nygard
, Poul Erik Hansen
Faststoffysik
3
Citationer (Scopus)
64
Downloads (Pure)
Oversigt
Fingeraftryk
Fingeraftryk
Dyk ned i forskningsemnerne om 'Replacing libraries in scatterometry'. Sammen danner de et unikt fingeraftryk.
Sorter
Vægt
Alfabetisk
Fysik og astronomi
gratings
100%
defects
63%
food
25%
gratings (spectra)
24%
scattering
23%
inspection
21%
optics
16%
air
13%
performance
10%