Spring til hovednavigation
Spring til søgning
Spring til hovedindhold
Københavns Universitets forskningsportal Forside
Hjælp og OSS
Dansk
English
Forside
Profiler
Publikation
Forskningsenheder
Presse/medier
Aktiviteter
Priser
???studenttheses???
Forskningsdatasæt
Søg efter ekspertise, navn eller tilknytning
Soft-mask fabrication of gallium arsenide nanomembranes for integrated quantum photonics
L. Midolo
, T. Pregnolato, G. Kirsanske, S. Stobbe
Kvanteoptik
20
Citationer (Scopus)
Oversigt
Fingeraftryk
Fingeraftryk
Dyk ned i forskningsemnerne om 'Soft-mask fabrication of gallium arsenide nanomembranes for integrated quantum photonics'. Sammen danner de et unikt fingeraftryk.
Sorter
Vægt
Alfabetisk
Teknik og materialevidenskab
Cleaning
16%
Costs
6%
Dry etching
25%
Electron beams
20%
Etching
18%
Fabrication
52%
Gallium arsenide
100%
Inductively coupled plasma
26%
Integrated circuits
16%
Masks
66%
Membranes
14%
Photonics
80%
Plasma etching
52%
Statistical methods
14%
Wet etching
24%
Kemiske forbindelser
Etching
63%
Inductively Coupled Plasma
17%
Plasma
10%
Time
6%